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硅材料及其制品檢測

概述

    目前,國際通用作法是把商品硅分成金屬硅和半導體硅。金屬硅是由石英和焦炭在電熱爐內冶煉成的產品,主成分硅元素的含量在98%左右(近年來,含si99.99%的也歸在金屬硅內),其余雜質為鐵、鋁、鈣等。半導體硅用于制作半導體器件的高純度金屬硅。是以多晶、單晶形態出售,前者價廉,后者價昂。

檢驗范圍

    晶體硅,石英玻璃管材、石英加熱管產品,石英電光源產品,石英器件、石英砂和硅微粉,碳化硅,金屬硅,熔融石英,水晶工藝品等10大類45項產品的檢驗。

相關檢測標準

      gb/t 14849 工業硅化學分析方法

      gb/t 2881 工業硅

      GB/T 24581 低溫傅立葉變換紅外光譜法測量硅單晶中IIIV族雜質含量的測試方法

      GB/T 6616 半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測定非接觸渦流法

      GB/T 1550 非本征半導體材料導電類型測試方法

      SEMI MF1630 單晶硅Ⅲ-Ⅴ級雜質的低溫FTIR分析測試方法

      GB/T 1553 硅和鍺體內少數載流子壽命測定光電導衰減法

      SEMI MF 1535-1106 非接觸微波反射光電導衰減測試硅晶片載流子復合壽命的方法

      GB/T 1557 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

      GB/T 1558 硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

      GB/T 6624 硅拋光片表面質量目測檢驗方法

      GB/T 4061 硅硅片徑向電阻率變化的測量方法

      GB/T 11073 多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法

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